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洁净室按照国际标准化组织（ISO）的14644-1标准对洁净室的定义为，该洁净室的悬浮粒子浓度受控，其建造和使用方式是使进入、产生、滞留于室内的粒子最少；室内其他参数，比如温度、湿度、气压、按需要受控。
传统通风型洁净室送风高效过滤器布满整个吊顶（或墙面），单向送风吹扫过整个房间，风速0.4米/秒80英尺/分钟），最后从地面排出，由此清除掉室内的悬浮污染。虽然这种系统的送风量大大高于传统送风的洁净室，但因气流运动是定向的，所以它能把室内污染扩散降至最小，并把污染经地板吹扫出去。
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(责任编辑：小紫) |
