工业用洁净室要求连续有效地去除粒径更小的粒子。HEPA过滤器一度是效率最高的过滤器，现在ULPA过滤器则是效率最高的过滤器，以后更高效率的新一代过滤器也将得以开发应用。微细玻璃纤维过滤介质是过滤器介质的主要选择，但膜和静电增强介质已向该领域渗透，并获得部分应用。

　　对于工厂排放的废气，要求最严格的是毒性。某些重金属如汞、砷、铬、铍等毒性很大，其排放限制非常严格。在空气毒性方面，美国和德国已经通过了新的更严格的立法。执行新的立法后，空气毒性的限制由原来的20mg/m3（标准）降低到010004mg/m3（标准）。为达到这一目标， 工厂需要更先进的过滤器以除去亚微粒子。一些德国公司使用传统的折叠式微细玻璃纤维HEPA过滤器用于过滤系统，同脉冲空气洁净机理相互配合，并使过滤介质的波纹更密。一家美国公司则通过设计管式微细玻璃纤维HEPA过滤器又向前进了一步。 (责任编辑：静电行业网)