洁净室的空气可以用各种方法来净化，如沉降法、惯性法和离心法、过滤法、洗涤法、静电沉积法等。在生产精密制品的工厂中，空气一般经过二级、三级、甚至四级净化。空气净化系统的作用是建立起洁净的环境和净化空调空气或实现空气的再循环。空气过滤器的选用主要取决于需要净化的空气量及其含尘浓度。空气量则决定于洁净室或净化工作区的大小、换气次数以及工艺过程的净化空气的重复使用程度。
　　过滤材料供净化工艺环境的空气之用，它由各种纤维物质，如纤维素、石棉、玻璃纤维、无纺布、高效超细玻璃绵纸、高效瓦楞格板纸、陶瓷、合成制品、铝和其他材料等，这些材料混合使用。最常用的过滤材料是玻璃纤维布和玻璃石棉，玻璃纤维布能滤除空气0.3μm的悬浮尘粒，过滤效率为99.99％。用玻璃纤维布甚至可以滤除空气中0.04μm的尘粒。利用纤维直径小于lμm的石棉纸能够可靠地滤除空气中粒径1μm的尘粒。
　　空气过滤器具有不同的结构形式（箱形、软管形、卷形、杯形）和不同的流量。直径20cm、长数米的软管过滤器悬吊在吊顶上，它能保证净化空气均匀分布。板状干式空气过滤器是一个内装毡呢过滤材料的金属箱，为加大过滤面，将过滤材料叠成厚厚的一叠，固定在丝网上。
　　在卷式过滤器中，空气以1.5×10-6~3×10-6m/s的流速从一个毡呢卷筒送至另一卷筒，这样的流速可保证气流阻力恒定以及使过滤器徐徐地阻留空气中的尘粒。空气净化系统中的静电过滤器用来净化送入高效过滤器的空气，当含尘空气通过电晕电极时，尘粒即被静电过滤器滤除。

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