洁净度有很多种等级，例如，百级、千级等等，洁净室也是这样划分的，世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍和比较。

　　209E与209D的最大不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以M字头表示，如M1,M1.5,M2.5,M3…以此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数字是以每立方公尺≥0.5?m之微尘粒子数字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘离子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。

　　美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则采用公制，即每立方公尺为单位，以0.1微米微尘粒子为计数标准。日本标准之表示方法以表示，最好的等级为，最差的为，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

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