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静电的危害分类

时间:2012-10-16 16:03来源:未知 作者:佚名 点击:
静电的危害主要体现在静电放电(即ESD)环节。ESD损害的突出特点是随机性、无规律,和不易察觉性。在现代工业,特别是电子工业的大规模生产中,人们没有感觉到放电就已造成了静电损伤而且不易被检测出来,ESD对元器件的损害后果是导致硬击穿和软击穿。

  静电的危害主要体现在静电放电(即ESD)环节。静电泄放电的时间只有毫秒级,瞬间脉冲高,平均功率可达千瓦以上,足以击穿元器件导致电子设备或系统失灵。


  ESD损害的突出特点是随机性、无规律,和不易察觉性。在现代工业,特别是电子工业的大规模生产中,人们没有感觉到放电就已造成了静电损伤而且不易被检测出来,ESD对元器件的损害后果是导致硬击穿和软击穿。硬击穿是一次性造成芯片内热,二次击穿金属喷键、熔融介质、击穿表面等,最终使集成电路彻底损坏,永久失效。软击穿可造成元器件性能劣化或参数指标下降,但还没有完全损坏,从而形成隐患,在最后质量检测中很难被发现,在使用时静电造成的电路潜在损伤会使其参数变化、品质劣化、寿命降低,使设备运行一段时间后随温度、时间、电压的变化出现各种故障从而不能正常工作。如果受损芯片属于一些重要的控制系统,如:网络中心控制系统、自动播出控制系统、生产调度控制中心、电子作战指挥系统、自动导航系统、各种发射控制系统,其造成的危害有时是难以预料的。潜在的损伤实际上具有更大的危害,造成的直接或间接损失更为严重,有关资料证明ESD引起的器件损伤90%为潜在性的软击穿损伤,10%为立即失效的损伤类型。


  另外静电感应和静电放电时产生电磁脉冲也具有一定的危害性:静电放电一般产生频率为几百千赫(kHz)~几十兆赫(MHz),电平高达几十毫伏的电磁脉冲干扰可使静电敏感器件(SSD)损坏。


  有人认为加有ESD保护电路的集成电路板不怕静电破坏,实际上尽管加有保护电路确实能够起到一定的保护作用,但当人体或工作环境中带有上千伏静电时,虽然敏感器件内有保护电路也是无法承受的。所有的集成电路均对静电敏感,其不同之处只在于所能承受的阀电压值不同而已。


  半导体及IC生产线上的静电及危害:


  1.穿着尼龙衣、塑胶基底鞋在清洁地板上缓慢走动,人身会带静电7~8KV电压;


  2.玻璃纤维制成的的晶体载料盒滑过聚乙稀桌面时,易产生10KV静电;


  3.晶片装配线:晶片静电可达5KV,晶片装料盒35KV,工作服10KV,有机玻璃盖8KV,石英晶件1.5KV,晶片托盘6KV;


  4.光刻间塑料地面500~1000V,金属网隔地面500~1000V,扩散间塑料地面500~1500V,塑料墙面约700V,金属活动皮革椅面500~3000V。

 

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(责任编辑:伊梦)
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